专利名称: 薄膜声波传感器及其制作方法
专利类别: 发明
申请号: 201710508683.5
申请日期: 2017.06.28
专利号:
第一发明人: 李传宇
其它发明人: 周连群、郭振、张威、姚佳、张芷齐、周颂
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