专利名称: 一种显微镜焦点偏移测量设备
专利类别: 发明
申请号: 201711051473.4
申请日期: 2017.10.31
专利号:
第一发明人: 李辉
其它发明人: 简俊明、文刚、金鑫、朱雨、赵星羽、朱茜
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专利授权日期:
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