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科学研究
专利名称: 一种集成零模波导芯片及其制备方法
专利类别: 发明专利
申请号: 202110274336.7
申请日期: 2021-03-15
专利号:
第一发明人: 周连群
其它发明人: 郭振,俞鹏飞,付博文,张芷齐,李传宇,李超,李金泽,张威,姚佳
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
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专利摘要:
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