专利名称: 一种零模波导器件及其制备方法
专利类别: 发明专利
申请号: 202110210183.X
申请日期: 2021-02-24
专利号:
第一发明人: 周连群
其它发明人: 付博文,郭振,李传宇,李金泽,张芷齐,李超,张威,姚佳
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