首页 科学研究 专利
科学研究
专利名称: 掩膜版和硅片对准装置
专利类别: 发明专利
申请号: 202110286316.1
申请日期: 2021-03-17
专利号:
第一发明人: 宋宇
其它发明人: 孙海旋,曾维俊,卢瑶,钱俊,闫雪松,于福鑫,吕丹辉
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
缴费情况:
实施情况:
专利证书号:
专利摘要:
其它备注:

版权所有：中国科学院苏州生物医学工程技术研究所 Copyright 2009 All Rights Reserved

电话：0512-69588000 传真：0512-69588088

地址：苏州高新区科技城科灵路88号 邮编：215163

苏ICP备16039565号

苏公网安备 32050502001085号