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科学研究
专利名称: 一种高精度闭环控制的狭缝调整装置
专利类别: 发明专利
申请号: 202110128199.6
申请日期: 2021-01-29
专利号:
第一发明人: 崔雷
其它发明人: 王弼陡,贾晨,何大永,田浩然
国外申请日期:
国外申请方式:
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专利摘要:
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