专利名称: 一种高精度闭环控制的狭缝调整装置
专利类别: 实用新型
申请号: 202120268185.X
申请日期: 2021-01-29
专利号:
第一发明人: 崔雷
其它发明人: 王弼陡,贾晨,何大永,田浩然
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
缴费情况:
实施情况:
专利证书号:
专利摘要:
其它备注: