论文编号:
第一作者所在部门:
论文题目: 超薄硅衬底氮化铝Lamb波压电谐振器
论文题目英文:
作者: 李传宇
论文出处:
刊物名称: 光学精密工程
: 2018
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联系作者: 周连群
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