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论文编号:
第一作者所在部门:
论文题目: 低温沉积SiO2薄膜工艺研究
论文题目英文:
作者: 李璟文
论文出处:
刊物名称: 真空与低温
年: 2013
卷: 19
期: 3
页: 168-171
联系作者: 李璟文
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