激光共聚焦扫描显微镜系统
【发表日期:2018-08-12 作者:】
技术特点:
采用多路激光,满足不同应用场合的需要;采用精密针孔滤波技术,使得只有处于焦平面位置上的信息能够被探测,最大限度地抑制了非聚焦平面的杂散光,具有很高的成像分辨率和信噪比;沿Z轴方向可以实现光学断层扫描,从而实现对较厚样本的三维成像。
应用领域:
在生物医学研究和陶瓷、金属、半导体、芯片等材料的研发与生产检测领域具有广泛的应用。
技术指标:
1)成像速度: 5帧/秒(分辨率为512X512)
2)视场大小(主像面):20mm
3)Z轴步进精度:10nm
4)光谱成像范围:400~700nm
5)光谱分辨精度:5nm