激光共聚焦扫描显微镜系统

【发表日期:2018-08-12 作者:】

  技术特点: 

  采用多路激光,满足不同应用场合的需要;采用精密针孔滤波技术,使得只有处于焦平面位置上的信息能够被探测,最大限度地抑制了非聚焦平面的杂散光,具有很高的成像分辨率和信噪比;沿Z轴方向可以实现光学断层扫描,从而实现对较厚样本的三维成像。 

    应用领域: 

  在生物医学研究和陶瓷、金属、半导体、芯片等材料的研发与生产检测领域具有广泛的应用。

     技术指标:   

  1)成像速度: 5/秒(分辨率为512X512

  2)视场大小(主像面):20mm 

  3Z轴步进精度:10nm 

  4)光谱成像范围:400~700nm 

  5)光谱分辨精度:5nm